光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速 。
在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局深刻變革的背景下，我國(guó)光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程迎來(lái)重大突破 。9月23日 ，第二十五屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)在上海國(guó)家會(huì)展中心隆重開幕。在這場(chǎng)工業(yè)盛會(huì)中 ，芯上微裝攜多款重磅新品精彩亮相，并憑借卓越的技術(shù)實(shí)力，成功斬獲展會(huì)最高榮譽(yù)“工博會(huì)CIIF 大獎(jiǎng)”及“集成電路創(chuàng)新成果獎(jiǎng) ”。同日 ，上海微電子(SMEE)展臺(tái)上首次公開亮相了極紫外(EUV)光刻機(jī)參數(shù)圖 。
今天（9月24日）光刻機(jī)概念繼續(xù)突飛猛進(jìn) ，概念龍頭張江高科(600895)漲停，再創(chuàng)歷史新高 。
光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速
國(guó)金證券表示 ，上海微電子以及芯上微裝各自都展出重磅產(chǎn)品 ，背后對(duì)應(yīng)的是今年產(chǎn)業(yè)端重磅的“0—1 ”突破，先進(jìn)封裝機(jī)臺(tái)正式量產(chǎn) 、干法DUV近期將進(jìn)入量產(chǎn)測(cè)試階段 、國(guó)產(chǎn)EUV進(jìn)入原理機(jī)搭建階段（本次展出為EUV概念驗(yàn)證機(jī)） ，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)進(jìn)入爆發(fā)元年。
根據(jù)華鑫證券研報(bào) ，在國(guó)家政策支持下，國(guó)內(nèi)企業(yè)加速研發(fā)突破光刻機(jī)制造技術(shù) ，目前國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)在90nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)方面取得了重要進(jìn)展 。例如 ，上海微電子自主研發(fā)的600系列光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)90nm工藝的量產(chǎn)，并正在進(jìn)行28nm浸沒(méi)式光刻機(jī)的研發(fā)工作 。近期 ，宇量昇與中芯國(guó)際的合作測(cè)試是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)突破的重要信號(hào)。
從產(chǎn)業(yè)影響看 ，華鑫證券認(rèn)為光刻機(jī)技術(shù)的突破將帶動(dòng)上游材料、精密機(jī)械等配套產(chǎn)業(yè)升級(jí)，加速光刻膠、光學(xué)部件等“卡脖子”材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，形成“龍頭帶動(dòng) 、多點(diǎn)突破”的產(chǎn)業(yè)升級(jí)格局 。
600895 ，歷史新高
在上述利好影響下 ，今天早盤光刻機(jī)概念繼續(xù)大漲，張江高科漲停 ，再創(chuàng)歷史新高 。根據(jù)2024年9月10日互動(dòng)易消息 ，張江高科通過(guò)子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司投資了上海微電子公司22345萬(wàn)元，持有上海微電子公司10.779%的股權(quán) ，后續(xù)未實(shí)施增持或減持。
根據(jù)波長(zhǎng)光電內(nèi)部的營(yíng)業(yè)收入分類口徑 ，光刻機(jī)相關(guān)業(yè)務(wù)屬于公司的半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域收入類別，產(chǎn)品主要包括反射鏡 、聚焦鏡、場(chǎng)鏡等一些光學(xué)元器件以及平行光源和一些小型光學(xué)系統(tǒng) ，應(yīng)用場(chǎng)景有接近式掩膜光刻 、直寫光刻 、封裝測(cè)試、半導(dǎo)體量檢測(cè)等 。
根據(jù)2024年年報(bào) ，江豐電子研發(fā)的半導(dǎo)體用多層薄壁鈦合金擴(kuò)散焊接項(xiàng)目開發(fā)項(xiàng)目，開發(fā)多層鈦合金擴(kuò)散焊接技術(shù) ，制備28nm以下節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)核心冷卻部件 ，已進(jìn)入量產(chǎn)階段 。
根據(jù)華安證券研報(bào)，芯碁微裝WLP 2000晶圓級(jí)直寫光刻設(shè)備已獲得中道頭部客戶的重復(fù)訂單并出貨。該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)2um的線寬/線距（L/S），為客戶提供2.xD封裝光刻工序的解決方案 。公司PLP3000板級(jí)直寫光刻設(shè)備憑借3um的L/S ，為長(zhǎng)三角客戶提供了高性能光刻解決方案 ，進(jìn)一步鞏固了其在特色工藝領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力 。
這些潛力股要起飛？
華鑫證券研報(bào)顯示，中國(guó)光刻機(jī)需求量較大 ，但國(guó)產(chǎn)化率極低。長(zhǎng)期以來(lái) ，中國(guó)在高端光刻機(jī)領(lǐng)域始終面臨“卡脖子 ”困境。美國(guó)早在2018年就開始施壓對(duì)華高端光刻機(jī)的出口，之后又陸續(xù)出臺(tái)“1007新規(guī) ”等針對(duì)政策 ，限制對(duì)中國(guó)出口先進(jìn)制程芯片設(shè)備 ，包括EUV光刻機(jī)和先進(jìn)型號(hào)的DUV光刻機(jī)，同時(shí)聯(lián)合日本荷蘭制定相關(guān)出口條例共同對(duì)華進(jìn)行產(chǎn)業(yè)封鎖 。
國(guó)金證券則表示 ，預(yù)估近期產(chǎn)整機(jī)將進(jìn)入量產(chǎn)線驗(yàn)證 、i線前道光刻機(jī)驗(yàn)證進(jìn)入尾聲 ，上游核心公司具備潛在加單機(jī)會(huì)，建議把握本輪主升浪行情 。
A股中 ，光刻機(jī)概念股有40多只 ，未來(lái)發(fā)展值得期待。從機(jī)構(gòu)關(guān)注度來(lái)看，芯碁微裝 、江豐電子、富創(chuàng)精密 、藍(lán)特光學(xué)等個(gè)股均有10多家機(jī)構(gòu)評(píng)級(jí)；同飛股份 、廣立微、美埃科技 、大族激光等個(gè)股均有5家以上機(jī)構(gòu)評(píng)級(jí) 。
從成長(zhǎng)性來(lái)看，富創(chuàng)精密 、同飛股份、廣立微、大族激光 、茂萊光學(xué) 、華辰裝備、炬光科技等個(gè)股機(jī)構(gòu)一致預(yù)測(cè)2026年 、2027年凈利增速均超30%；芯碁微裝 、江豐電子、藍(lán)特光學(xué) 、永新光學(xué) 、華特氣體等個(gè)股機(jī)構(gòu)一致預(yù)測(cè)2026年、2027年凈利增速均超20% 。
部分個(gè)股還得到杠桿資金的青睞。數(shù)據(jù)顯示 ，騰景科技 、芯碁微裝 、炬光科技、波長(zhǎng)光電等個(gè)股9月以來(lái)杠桿資金凈買入均超億元 。
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